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1  主軸系統(tǒng)位于設備的下方，由電機通過窄 V 帶拖動，采用最短的傳動 鏈保證了其運轉精度,  下盤采用高精度軸承定位支撐，運轉剛度和精度都得 到了良好的保障，下盤軸下部裝有旋轉接頭，用于下盤內通冷卻水，下盤冷卻 水流量可通過電動閥比例調節(jié).

2  PP 拋光頭位于設備的上部，PP 頭的升降及加壓由氣缸實現(xiàn)，四個 PP 頭的升降及加壓均單獨控制；PP 頭可主動旋轉，單獨控制；PP 頭具備真空吸 附功能，可將陶瓷盤快速提起。

3 在設備的上部箱體正面設有主操作面板，可進行參數(shù)設定，運行監(jiān)控等 功能，在上箱體的兩個側面分別設有小操縱板用于四個 PP 頭的升降操作；

4 拋光液、冷卻水、清洗水及氣路等從設備的后部引入；

5 在下盤的外側設有可滑動的防護罩，可防止工作液的飛濺，減少有害 氣體的溢出；

6 設備具有水液分離機構，可實現(xiàn)拋光液及水的自由切換；

7 在下拋盤中間設有可升降的一個中間導輪裝置，在接液盆邊緣部位設有 四個外導輪裝 置，二者配合可實現(xiàn)工件盤的自動定位；

8 在橫梁上裝有紅外測溫裝置，用于下盤盤面溫度的監(jiān)測；

9 拋光液流經(jīng)或可能會接觸到的地方均采用不銹鋼材料或耐腐蝕非金屬材 料制作或進行 特殊的防腐處理，液桶采用透明 PVC 或不銹鋼制作 (按客 戶需求定) ，拋光液管路采用潔凈 PVC 制作，滿足強酸強堿強氧化劑的 使用環(huán)境。

10 具有自動沖水裝置，PP 頭將陶瓷盤提起后，可自動對工件或 PP 頭進

行噴水沖洗 (選 配)；

11 界面密碼分級管理，可根據(jù)不同權限設置；

12 歷史數(shù)據(jù) (溫度、壓力、轉速、時間等) 可導出。